多種多様な機能搭載!320万画素の3CMOSカラーエリアカメラで検査を実施。
『ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)』は、ウエハダイシング後の
チップを外観検査する装置です。
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(約0.8μm~2.0μm/pixel)
また、オプションで、表裏同時検査・NGチップリジェクト機能・
NGチップマーキング機能・全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能・
ID読込み及びマッピングデータ出力機能がございます。
【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■外観検査とNGリジェクトを平行して行う2ステージ仕様も選択可能
■処理能力
・外観検査時間:分解能1.5μm時 約2分(2inch:チップサイズ約1mm)
・排除時間:3~6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動)
・マーキング時間:インカーの場合3~4チップ/秒
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社ヒューブレイン