検査精度に合わせた画像分解能が選択可能！高速かつ高精度な検査を実現
『ウエハ外観検査装置(ダイシング前)』は、ウエハ工程で発生する
外観欠陥を高速かつ高精度で検査が可能な装置です。
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(マクロ検査約10um分解能以上)
また、ビューワーソフトは、検査結果マップ表示機能・NGチップ拡大表示機能・
不良分類表示機能(不良項目/検査総数/OK/NG)がお使いいただけます。
【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■ウエハ工程で発生する外観欠陥の検査が可能
■オートフォーカス機能(オプション)
■全数のマーキングミスチェック機能(オプション)
■ID読込み及びマッピングデータ出力機能(オプション)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様(例)】
■カメラ
・500万画素モノクロエリアカメラ(ミクロ検査)
・1,200万画素モノクロエリアカメラ(マクロ検査)
・2,500万画素モノクロエリアカメラ(アライメント)
■装置サイズ
・1,350W×1,350D×1,800H mm
・パトライト、HEPA除く
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■カメラ
・500万画素モノクロエリアカメラ(ミクロ検査)
・1,200万画素モノクロエリアカメラ(マクロ検査)
・2,500万画素モノクロエリアカメラ(アライメント)
■装置サイズ
・1,350W×1,350D×1,800H mm
・パトライト、HEPA除く
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【検査項目】 ■スクラッチ、変色、異物、パターンずれ、パターン欠損、レジスト残留、塗布不良、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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株式会社ヒューブレイン
