多種多様な機能搭載！320万画素の3CMOSカラーエリアカメラで検査を実施。
『ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)』は、ウエハダイシング後の
チップを外観検査する装置です。
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(約0.8μm～2.0μm/pixel)
また、オプションで、表裏同時検査・NGチップリジェクト機能・
NGチップマーキング機能・全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能・
ID読込み及びマッピングデータ出力機能がございます。
【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■外観検査とNGリジェクトを平行して行う2ステージ仕様も選択可能
■処理能力
・外観検査時間：分解能1.5μm時 約2分(2inch：チップサイズ約1mm)
・排除時間：3～6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動)
・マーキング時間：インカーの場合3～4チップ/秒
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【機器仕様(例)】
■カメラ
・320万画素3CMOS カラーエリアカメラ(検査)
・16,000画素モノクロラインカメラ(プレスキャン)
■装置サイズ
・1,450W×1,640D×1,800H mm
・パトライト、HEPA除く
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■カメラ
・320万画素3CMOS カラーエリアカメラ(検査)
・16,000画素モノクロラインカメラ(プレスキャン)
■装置サイズ
・1,450W×1,640D×1,800H mm
・パトライト、HEPA除く
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【検査項目】 ■ダイシング不良(ワレ･欠け)、スクラッチ、変色、異物、パターンずれ、 パターン欠損レジスト残留、塗布不良、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
画像分解能が選択可能！ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ヒューブレイン
