HUGパワー株式会社

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

最終更新日: 2023-12-06 09:17:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

コスト低減!半導体用洗浄にも使われているクリーンな洗浄ユニット
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。
蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。
金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。

関連情報

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」
蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW,N2,CDA,200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
動画で紹介【超音速スチーム洗浄装置】
動画で紹介【超音速スチーム洗浄装置】 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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事例紹介(白金残渣洗浄)蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」
事例紹介(白金残渣洗浄)蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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事例紹介(レジスト膜浸透)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
事例紹介(レジスト膜浸透)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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事例紹介(ビアホール洗浄)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
事例紹介(ビアホール洗浄)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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事例紹介(接触角測定)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
事例紹介(接触角測定)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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事例紹介(切削粉除去)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
事例紹介(切削粉除去)蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中
水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

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蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈
蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈 製品画像
【基本構成】
・蒸気発生装置
・2流体ノズル

【資料の掲載内容(抜粋)】
・キャビテーションとは
・蒸気2流体の特長
・水のレジスト膜への浸透
・半導体工程での処理例(白金残渣)
・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去
・自動車のタイヤホイール洗浄
・新たな可能性(メーク落とし)
・水蒸気洗浄の美容・医療への応用
・ハンディタイプのノズルも開発中!

※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』
『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』 製品画像
【その他の特長】
■装置はキャスター付きで移動が容易
■一度の給水で連続1時間以上使用可能
■蒸気の圧力、純粋の流水等の条件設定が可能

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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