HUGパワー株式会社

蒸気2流体洗浄装置

最終更新日: 2023-12-06 09:17:18.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2020/1/29
半導体業界から生まれた新技術
◼ 蒸気を超音速で噴射することで発生する衝
 撃波(キャビテーション)と、せんだん力
 により汚れ、微小異物も除去
◼ 薬品を使わないので、廃液処理が簡単、
 低コストを実現
◼ 水のみで洗浄するので環境負荷がなく、安全
◼ 非接触なので消耗品が少ない
◼ 油性マジックも除去可能

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関連情報

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』
『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』 製品画像
【その他の特長】
■装置はキャスター付きで移動が容易
■一度の給水で連続1時間以上使用可能
■蒸気の圧力、純粋の流水等の条件設定が可能

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中
水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中 製品画像
【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量:2~100kg/h
 ※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力:DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲:0.05-0.3MPa

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈
蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈 製品画像
【基本構成】
・蒸気発生装置
・2流体ノズル

【資料の掲載内容(抜粋)】
・キャビテーションとは
・蒸気2流体の特長
・水のレジスト膜への浸透
・半導体工程での処理例(白金残渣)
・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去
・自動車のタイヤホイール洗浄
・新たな可能性(メーク落とし)
・水蒸気洗浄の美容・医療への応用
・ハンディタイプのノズルも開発中!

※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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