最終更新日:
2023-07-13 10:32:12.0
高真空仕様の加熱マイクロプローバ！加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します！
『HMP-100』は、排気系により＜10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の
加熱マイクロプローバです。加熱温度は最大500℃で、10mm形状の
サンプル加熱に対応します。TRIAXコネクタを採用することにより
1pA以下の電気測定が可能です。
【特長】
■高真空仕様
排気系により＜10^-4Paでの使用可能
■加熱温度
最大500℃対応
10mm形状のサンプル加熱対応
■低電流測定
TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
＜試料評価室＞
■真空チャンバ：φ114×h84mm SUS304／内面#400/外面#400＋電解研磨
■フランジ：コンフラット規格
■ベーキング：150℃対応
＜測定部＞
■プローブ数：4探針プローブ/タングステン針
■測定最少電流：1pA以下（常温）
■対向プローブ間距離：417mm
＜加熱機構部＞
■加熱温度：最大500℃
■加熱機構制御：DC電源外部制御式PIDコントローラ
■温度センサ：K熱電対
＜装置本体＞
■装置架台
・ゴム足付きベースプレート 310×310×25hmm（ゴム足含む）
・プローバステージ用フレーム：アルミフレーム構造
■主排気用バルブ：ICF70手動アングルバルブ＋ICF70/NW25変換ニップル
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