ダイナミックSIMS | 株式会社アイテス

製品ニュース掲載開始日: 2024-02-28 00:00:00.0

『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を
ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。

定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が
可能。(当社の協力会社での分析実施)

最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことが
できます。

関連製品情報

ダイナミックSIMS

ガラス、金属、セラミックス、Si、化合物半導体、浅いインプラントなどの分析に好適！

『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が可能。(当社の協力会社での分析実施) 最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことができます。【特長】 ■試料の自動ロード/アンロード、高スループット(24試料/ロード) ■比類のないデプスプロファイリング能力と高いデプス分解能、　広ダイナミックレンジ ■ガラス、金属、セラミックス、Si、化合物半導体、浅いインプラントなどの　分析に最適化 ■最高検出限界：ppmからppb (10^-6〜10^-9) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

TOF-SIMSによる表面分析

TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。

■TOF-SIMS　3つの分析モード・高分解能質量スペクトル・深さ方向分析・表面の面分析

有機物のTOF-SIMS分析

有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介いたします

TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が可能であり、有機物の分析にも有効です。有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。二次イオンマススペクトルは有機物の定性に有効な知見を得られる場合があります。今回の事例では、ポリエチレングリコールに特長的な繰り返し構造（C2H4O）を質量差44のピーク群として確認できます。質量数から計算すると、末端はH-,HO-であり、プロトン付加として検出されていることが推測されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

微量汚染物のTOF-SIMS分析

TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です！

再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を行いました。 TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物（CH,CN）、 Na、K、が検出されました。ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が付着していることがわかりました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【TOF-SIMSの事例】Liの分析

感度よく検出することが可能！TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介

TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介します。汚染や異物の分析には、SEM-EDXが利用されていますが、 windowless EDXを除く一般的なEDXではLiの検出は困難です。一方、TOF-SIMSはLiを感度よく検出することができます。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【概要】 ■銅板の染みの分析 ■SEM-EDX分析→Li検出困難 ■TOF-SIMS分析→Li検出可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

全固体電池用原料の組成分析

電解質の純度が電池の性能に大きく影響！硫黄成分の揮発性を抑え、ICで検知できる形態に変換

全固体電池用原料の組成分析について、イオンクロマトグラフィーを用いて、五硫化二リンの純度を分析した例をご紹介します。五硫化二リンは、硫化物系全固体電池の電解質製造に使用される原料の一つ。 IC測定の前処理として、五硫化二リンの粉末をアルカリ水に溶解させ、リン酸塩とスルフィド塩に変換。その後、スルフィドイオンを硫酸イオンに酸化して、 IC測定溶液を調整しました。なお、詳細は掲載カタログにてご紹介しておりますので、是非ご一読ください。【固体電解質(一部)】 ■Li3PS4 ■Li7P3S11 ■Li6PS5Cl ■Li6PS5Br ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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