株式会社アイテス

ダイナミックSIMS

最終更新日: 2024-02-29 10:25:17.0
ガラス、金属、セラミックス、Si、化合物半導体、浅いインプラントなどの分析に好適!

『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を
ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。

定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が
可能。(当社の協力会社での分析実施)

最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことが
できます。

【特長】
■試料の自動ロード/アンロード、高スループット(24試料/ロード)
■比類のないデプスプロファイリング能力と高いデプス分解能、
 広ダイナミックレンジ
■ガラス、金属、セラミックス、Si、化合物半導体、浅いインプラントなどの
 分析に最適化
■最高検出限界:ppmからppb (10^-6〜10^-9)

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