最終更新日:
2020-06-01 13:04:14.0
微小プローブによる高分解能でのイメージング！ナノレベルの構造解析を実現いたします
当社では、試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの
構造解析を実現いたします。
「形状測定（タッピングモード）」では、周期的に振動させた
プローブで試料表面を軽くタッピングし、表面形状を計測。
また、「位相イメージング」は、カンチレバーを動かす周期信号と
カンチレバーの振動との間の位相遅れをマッピングし、形状には
現れない物性の違いを可視化します。
【特長】
■微小プローブによる高分解能でのイメージング
■導体、半導体、絶縁体を問わず測定可能
■微小な触圧によりほぼ非破壊で測定できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【適用例】 ■ウエハ、ガラス、基板等の表面粗さ評価 ■MEMS、ナノインプリント等の形状評価 ■フィルム等の物性評価（位相イメージング） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい |
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