ITWジャパン株式会社

2022-12-21 00:00:00.0
日本工業出版「計測技術12月号」に執筆記事が掲載されました

MEMSピラニ―真空計『VersaTorrシリーズ』

MEMSピラニ―真空計『VersaTorrシリーズ』

カタログニュース   掲載開始日: 2022-12-21 00:00:00.0

日本工業出版「計測技術12月号」にて新製品であるMEMSピラニ―真空計VersaTorrシリーズの製品概要と先端半導体プロセスにおける応用例を紹介しています。

関連製品情報

気体・液体用マスフローコントローラ<真空・圧力計測と制御>
気体・液体用マスフローコントローラ<真空・圧力計測と制御> 製品画像
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています!

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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