製品ニュース

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製…

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』

半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーショ…

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に
合わせてご紹介しましたパネル資料です。

■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応
■ 証明書と認証
■ アプリケーション

こちらよりご覧ください。
https://www…

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に
合わせてご紹介しましたパネル資料です。

■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー)

こちらよりご覧ください。
https://www.ipros.jp/catalog/deta…

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像
できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した
のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器…

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像
できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した
のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器…

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、
プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には
想像できなかったような機能を備えています。

このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で
利用されている薄膜…

バイオテクノロジーなどの業界では、流量制御の校正精度を保証するために認証を利用しています。
流体の流れを測定し制御する機器は、正確な測定と制御を保証するために、初期製造時に校正し、その後定期的に再校正をする必要があります。ブルックスインスツルメントのような計測器メーカーにとって、高精度な計測システ…

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。HME プロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他…

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』

超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMulti…

モデル 3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G

『幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応』

屋内や屋外を問わず、過酷なご使用環境下でも設置可能な構造：高圧条件、低温や高温の流体、遠隔監視のご用途には「MT3809シリーズ 金属管面積式流量計…

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。

Brooksは世…

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863

『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』

そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力…

モデル GF40

『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』

1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ…

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！
幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行します！

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプや…

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プ…

『最高の性能を最大限に引き出す』

半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。

GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスで…

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフローコントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールは専用のソフトウェアであるブルックスエキスパートサポートツール(BEST)を使用することで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。

SLA580…

モデル 5700

『ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定』

温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー…

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種

『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』

プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス…

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64

『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』

屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような…

モデル VDM300

『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』

蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機…

チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されるこ…

二次電池材料、バイオ、表面処理の製造工程や各種評価装置、EPC業界などで使用される流量・圧力測定機器は、用途に適した機能や精度を満たしていることはもちろん、安心して長期間お使いいただける耐久性も重要です。

ITWジャパンでは、気体用のマスフローメータ/コントローラやプレッシャーコントローラ、ト…

新製品のピラニー真空計VersaTorrシリーズは、ダイヤフラム式とMEMS
ピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、キャパシタンス
マノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を可能にしたトリプル
センサーのBVT200シリーズで製品展開しています。

新開発のMEMS…

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー
コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを
MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること
で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種…

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。

HMEプロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよび…

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー
コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを
MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること
で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種…

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の
修理や代替品の選定で、お困りではないですか？

この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメン…

抗体医薬品やワクチンを含む、バイオ医薬品の原薬製造工程において、ウイルスや細胞などを培養しスケールアップすることが目的となり、対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。そして、pH値や溶存酸素濃度をモニタしながら、空気、酸素、窒素、二酸化炭素の流量をMFCでコントロ…