ITWジャパン株式会社

2019-06-12 00:00:00.0
MultiFlo(TM) コンフィギュレータのマニュアルを改訂

GF125シリーズに用いるMultiFloコンフィギュレータ

GF125シリーズに用いるMultiFloコンフィギュレータ

カタログニュース   掲載開始日: 2021-04-05 00:00:00.0

弊社の基幹マスフローコントローラ(以下MFC)である、GF125シリーズに用いるMultiFloコンフィギュレータのマニュアルを改訂いたしました。大きな改定は、MFCとパソコンとの通信に用いるケーブルのタイプが変更になったものです。

■ Brooks MultiFloコンフィギュレータとは
Windowsオペレーティングシステム向けのMultiFloコンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。MultiFloテクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術です。プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。
使いやすいMultiFloコンフィギュレータアプリケーションは、市場で最も総合的なガスデータベースを備え、プロセスガスの精度を向上することにより、幅広い用途でMultiFlo対応MFCを使用することができます。

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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』
メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』 製品画像
すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI(圧力変動耐性)メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性:0.5%フルスケール/年以下 ■セトリングタイム:300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路:4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス・接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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