ITWジャパン株式会社

高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』

最終更新日: 2020-11-05 15:37:20.0
実証された長期安定性!高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、
柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。

さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。

当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、
この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に
使用します。

【特長】
■高リークインテグリティ(10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下)
■幅広い流量レンジ(0.003~100 slpm)
■高清浄VAR 316Lステンレス製
■粒子の発生を防ぐ
■ヘリウム漏れチェックポート

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■平常時クローズドバルブ(平常時オープンバルブのオプションもあり)
■電動式バルブオーバーライド
■低コマンド流量カットオフ
■TTl準拠の「バルブオフ」機能

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■光ファイバー製造 - MCVD、OVD、AVD
■流量蒸気流制御

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

ITWジャパン株式会社

製品・サービス一覧(23件)を見る