最終更新日:
2020-11-05 15:37:20.0
スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性
も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。
高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された
専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、
当製品は実流量を高速で追従させることができます。
【特長】
■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下
■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム
■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ
■RS-232によるデジタル対応
■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で
セットアップと操作を合理化
※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■幅広い種類の非腐食性ガスに好適
■高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保
■OEMに好適
■ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■熱処理、カッティング/溶接、サーマルプロセス ■ソーラー/薄膜物理蒸着（PVD）システム ■試薬、キャリブレーション、サンプルガス流量の測定と制御を行う解析デバイス ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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