株式会社イワキ

エアー駆動ベローズポンプ Fシリーズ

最終更新日: 2024-04-26 11:49:36.0

半導体プロセスの超クリーン化に対応
半導体プロセスの超クリーン化に対応

【特 長】
■半導体製造プロセス専用設計
■コンタミフリー、接液部には全てフッ素樹脂を採用
■ポンプ外周部をフッ素樹脂コーティング
■液温範囲は5〜180℃
■最大流量は100L/min
■洗浄プロセス・CMPプロセス・薬供プロセスに

関連情報

エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ 製品画像
【特長】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

■コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール (PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

■幅広い液温範囲・高圧吐出
液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ 製品画像
【特徴】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max.200spm:FS-80N)により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。

■コンタミフリー設計
接液部にすべてフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計。また、弊社独自のシャフトシールの採用で(特許:FS-80N)、パーティクルの発生が少なくなっています。

■大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 製品画像
【洗浄効率の大幅な向上】
循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

【コンタミフリー設計】
接液部には、全てフッ素樹脂(PTEF,PFA)を使用し半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。
また、ポンプの外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出が無い設計です。

【重量低減】
部品形状を最適化することで、従来品の約30%の重量低減を実現
ナノリンク システム
ナノリンク システム 製品画像
■□■特長■□■

■簡単接続
シールリングを挟みクランプするだけ

■安全性
ナノリンク構造により安定したシール性を実現

■サイズ
インチとミリの共通化

■省スペース化
ダイレクト連結により、チューブ使用量を大幅削減

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