株式会社イワキ

エアー駆動ベローズポンプ Fシリーズ

最終更新日: 2024-10-21 10:56:51.0

半導体プロセスの超クリーン化に対応
半導体プロセスの超クリーン化に対応

【特 長】
■半導体製造プロセス専用設計
■コンタミフリー、接液部には全てフッ素樹脂を採用
■ポンプ外周部をフッ素樹脂コーティング
■液温範囲は5〜180℃
■最大流量は100L/min
■洗浄プロセス・CMPプロセス・薬供プロセスに

関連情報

エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ
エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ 製品画像
【特長】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

■コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

■幅広い液温範囲・高圧吐出
液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ 製品画像
【特徴】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max.200spm:FS-80N)により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。

■コンタミフリー設計
接液部にすべてフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計。また、弊社独自のシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が少なくなっています。

■大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 製品画像
【洗浄効率の大幅な向上】
循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

【コンタミフリー設計】
接液部には、全てフッ素樹脂(PTEF,PFA)を使用し半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。
また、ポンプの外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出が無い設計です。

【重量低減】
部品形状を最適化することで、従来品の約30%の重量低減を実現
ナノリンク システム
ナノリンク システム 製品画像
■□■特長■□■

■簡単接続
シールリングを挟みクランプするだけ

■安全性
ナノリンク構造により安定したシール性を実現

■サイズ
インチとミリの共通化

■省スペース化
ダイレクト連結により、チューブ使用量を大幅削減

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社イワキ

カタログ 一覧(118件)を見る