最終更新日:
2020-06-23 15:57:23.0
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。
基本情報
【洗浄効率の大幅な向上】
循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。
【コンタミフリー設計】
接液部には、全てフッ素樹脂（PTEF,PFA）を使用し半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。
また、ポンプの外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出が無い設計です。
【重量低減】
部品形状を最適化することで、従来品の約30％の重量低減を実現
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-100HT2 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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