株式会社イワキ

イワキフォトレジストディスペンスポンプ PDSシリーズ

最終更新日: 2024-04-26 13:27:37.0
再現性±0.3%(F.S.)以下、大幅な省レジストを実現

■□■特長■□■

■大幅な省レジスト

■多様なコートプロセスに対応

■ダウンタイムの短縮

■コンタミフリー

■高粘度用途に対応(PDS-H115)

詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。

基本情報

PDS-105R
【概略仕様】(50/60Hz)
■吐出量:5.0mL/shot
■最高吐出速度:0.1〜4.0mL/sec
■吸込み速度:0.1〜3.0mL/sec
■最高吐出圧力:0.15MPa
■繰返し精度:±0.3%以下(F.S.)
■最高取扱い液粘度:200mPa·s

PDS-H115
【概略仕様】(50/60Hz)
■吐出量:12.0mL/shot
■吐出速度:0.5〜2.0mL/sec
■吸込み速度:0.3〜2.0mL/sec
■最高吐出圧力:1.0MPa
■繰返し精度:±0.5%以下(F.S.)
■取扱い液粘度範囲:100〜10,000mPa·s

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