イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド総合カタログ | カタログ

関連情報

【FLP-60W概略仕様】
■最大吐出量・・・50L/min(供給エアー圧力0.1MPa・清水20℃)
■使用液温度範囲・・・5 – 100℃・101 – 150℃ ・151 – 180℃
■最大移送液粘度・・・50 mPa·s
■接続配管口・・・Φ25mm×Φ22mm(チューブ)

【FLP-75W概略仕様】
■最大吐出量・・・92L/min(供給エアー圧力0.3MPa・清水20℃)
■使用液温度範囲・・・5 – 100℃・101 – 150℃・ 151 – 180℃
■最大移送液粘度・・・50mPa・s
■吸込み側
■接続配管口径 φ31.8mm × φ28.0mm（PFA）
スーパー300タイプ 1-1/4″ユニオンナット、スリーブ付
■吐出側接続配管口径 φ25.4mm × φ22.2mm（PFA）
スーパー300タイプ 1″ユニオンナット、スリーブ付

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問合せください。

イワキエアー駆動ベローズポンプ　FS-Nシリーズ

【特徴】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化（Max.200spm：FS-80N）により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。

■コンタミフリー設計
接液部にすべてフッ素樹脂を採用したコンタミフリー設計。また、弊社独自のシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が少なくなっています。

■大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。

イワキ薬液補充ポンプ　CFDシリーズ

【概略仕様】
■型式：CFD-1T-B・CFD-8T-B
■最大吐出量：1mL/shot・8mL/shot
■供給エアー圧力：０.15～0.3MPa
■最大エアー消費量：2.5NL/min注・5.4NL/min注
■最大ストローク数：30spm
■主要材質：PTFE、PFA、PCTFE
■液温範囲：20〜60℃
注：供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。

イワキエアー駆動ベローズポンプ　FS-100HT2

【洗浄効率の大幅な向上】
循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

【コンタミフリー設計】
接液部には、全てフッ素樹脂（PTEF,PFA）を使用し半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。
また、ポンプの外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出が無い設計です。

【重量低減】
部品形状を最適化することで、従来品の約30％の重量低減を実現

エアー駆動ベローズポンプ　FS-Hシリーズ

【特長】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。

■コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシールの採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

■幅広い液温範囲・高圧吐出
液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。

圧縮エアー駆動のダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』

【仕様】
◎金属タイプ　TCS / TCA型
　最大吐出量範囲：11.5 - 800 L/min
　最大吐出圧力：0.85MPa

◎樹脂タイプ　TCP / TCG / TCD / TCV型
　最大吐出量範囲：11.5 - 760 L/min
　最大吐出圧力：0.7MPa

◎フッ素樹脂タイプ　TCT型
　最大吐出量範囲：11 - 150 L/min
　最大吐出圧力：0.7MPa

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ダイレクトポンプ　NRDシリーズ

幅広いニーズに対応する高性能キャンドポンプ。
イワキより、ダイレクトポンプ NRDシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■小型、軽量、シールレス
■ホース、Rネジ、NPTネジの３種類の接続方法
■DCブラシレスモータで長寿命
■国際規格取得が容易
■DC1〜5Vの外部入力信号により流量変更が可能
■高温環境対応

その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、
もしくはお問い合わせ下さい。

イワキマグネットポンプ　MDシリーズ

【ポンプ概略仕様（50/60Hz）】
■最大吐出量範囲：5.5～135 / 6～135 L/min
■最高揚程範囲：1～14.3 / 1.4～20.3 m
■主要材質：GFRPP
■モーター出力範囲：5～265W
■電源：AC100V、200V、他
■液温範囲：0～80℃（液質により異なります）
■比重限界：1.3程度まで（機種により異なります）
■シール方式：シールレス

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキマグネットギヤポンプ　MDGシリーズ

液洩れを追放したコンパクトギヤポンプ。
イワキより、マグネットギヤポンプ MDGシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■高圧・高真空
小型ながらMax. 0.6MPaの高圧吐出、真空度5.3kPaが可能
■優れた耐食性
接液部にはSUS316、PPS、PEEK、
PTFEなどの優れた耐食材料を採用、各種薬液の移送が可能
■液モレのないシールレス構造
マグネット駆動方式によるシールレス構造のため液モレがなく、
軸シール交換の手間も不要
■優れた耐熱性
耐熱材質の採用に加え、
ギヤポンプボディは独自の技術で精密加工されており、
高温薬液移送が可能
標準型でMax. 95℃の使用が可能 (但し、機種により異なる)
■低騒音、低振動、コンパクト
小型で軽量なうえ、騒音・振動も低く、
装置・機器への組込みに適している
■長寿命設計

その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、
もしくはお問合せ下さい。

イワキマグネットポンプ　MDMシリーズ

【ポンプ概要仕様（50/60Hz)　】
■吐出量口径範囲：25～65ｍｍ
■最高吐出圧力範囲：200～1400　/　200～1400　L/min
■主要材質：CFRETFE、PFA
■液温範囲：CFRETFE：-20～100℃、PFA：-20～150℃(液質により異なります）
■所要動力範囲：1.5～18.5（60Hz）ｋW

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。

イワキマグネットポンプ　AMPシリーズ

【概略仕様（50/60Hz）】

■最大吐出量範囲：400 – 1000 / 500 – 1000 L/min
■最高揚程範囲：14 – 36 / 22 – 49 m
■主要材質：CFRPP
■所要動力範囲：3.7 – 7.5kW
■吐出口径範囲：40A、50A
■液温範囲：0 – 80℃ (液質により異なります)
■比重限界：2.0程度まで(お問合せください)
■シール方式：シールレス

自吸式マグネットポンプ　SMX/SMX-Fシリーズ

【ラインアップ（一部）】
■SMX-220
■SMX-221
■SMX-222
■SMX-441
■SMX-F220
■SMX-F221
■SMX-F222
■SMX-F441

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

イワキマグネットポンプ　MXMシリーズ

　ＭＸＭシリーズは耐食性・耐久性・安全性などケミカルポンプに求められる性能をバランス良く備え、ノンコンタクトシステムとセルフラジエーション構造（PAT.）を採用することで異常運転に対する耐久性が大幅に向上しています。
　ＭＸＭシリーズのラインアップにより、イワキプロセスマグネットポンプの選定範囲が一段と拡がりました。

※仕様等の詳細はカタログをご覧下さい。

イワキマグネットポンプ　MX-Fシリーズ

【概略仕様（50/60Hz）】

■最大吐出量範囲：110 – 510 / 110 – 510 L/min
■最高揚程範囲：8.2 – 29.5 / 8.2 – 27 m
■主要材質：CFRETFE
■所要動力範囲：0.26 – 2.2 kW
■吐出口径：G1、25 A、40 A
■液温範囲：0 – 80℃ (液質により異なります) 注
■比重限界：2.0程度まで(お問い合わせください)
■シール方式：シールレス

注：アフラス　Oリングの場合は10 – 80℃

※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。

イワキハイセラポンプ　Vシリーズ

【製品用途例】
◎燃料電池　（改質水ポンプ）
◎二次電池　（リチウム電池の電解液充填・移送、ゲル状液の定量注入）
◎医療機器　（臨床検査装置、免疫分析装置、人工透析装置）
◎洗浄機器　（洗剤・リンス注入）
◎製紙　　　（紙力増強剤・染料の定量注入、スライムコントロール剤の注入など）
◎コンデンサ（リン酸液の注入）
◎廃液処理設備（高分子凝集剤・消石灰の注入）

※詳しくは、カタログをご覧ください。お問合せもお気軽にどうぞ。

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

PDS-105R
【概略仕様】（50/60Hz）
■吐出量：5.0mL/shot
■最高吐出速度：0.1〜4.0mL/sec
■吸込み速度：0.1〜3.0mL/sec
■最高吐出圧力：0.15MPa
■繰返し精度：±0.3%以下（F.S.）
■最高取扱い液粘度：200mPa·s

PDS-H115
【概略仕様】（50/60Hz）
■吐出量：12.0mL/shot
■吐出速度：0.5〜2.0mL/sec
■吸込み速度：0.3〜2.0mL/sec
■最高吐出圧力：1.0MPa
■繰返し精度：±0.5%以下（F.S.）
■取扱い液粘度範囲：100〜10,000mPa·s

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目的必須	新規導入既存入れ替え試作検討情報収集
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