上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
結晶性Siの約３倍の曲げ強度を有し、1.3倍の成膜速度により効率的な成膜 が可能です。
SIC/Si複合材料の特性と成膜結果は、カタログをご参照下さい。
関連情報
金属セラミックス複合材料「MMC」（SiC/Si 浸透法）
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【特徴】
○軽量 アルミニウムと同等！
○高剛性 SiCほぼ同等！
○低熱膨張 金属シリコンと同等！
○高熱伝導 175～190（W/m・K） SiC 以上！
○対SiC大型化 SiC通常□0.5m程度（当社比）→□1m×0.5mの大型品可能！
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
【用途例】スパッタリングターゲット 複合材料SiC/Si
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Si合金にSiCセラミックス粒子を含有させた複合材料です。
【特徴】
○比重 2.7
○曲げ強度 240MPa
○低熱膨張 2.9ppm/℃
○高熱伝導 110W/mK
●詳しくはお問い合わせ、またはPDFダウンロードをクリックしてください。
お問い合わせ
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日本ファインセラミックス株式会社
