株式会社日本レーザー

超音波顕微鏡 超高速スキャン 超音波映像装置

最終更新日: 2024-02-26 17:16:20.0
KSI社製の超音波顕微鏡 「V シリーズ」 超高速スキャンが半導体分野・電子部品・セラミック材料等において、威力を発揮します!

ドイツKSI社製の超音波顕微鏡(超音波映像装置)V シリーズは、最高400MHzまでの超音波を用い、検査体の内部探傷/内部観察を行えます。

超音波顕微鏡の原理はこちらから https://www.japanlaser.co.jp/technology/ksi_ultrasonic_principle/

従来比、約1.5倍の高速スキャン、高SNでの撮像を実現した新デザインプローブおよび新型アンプも採用。

本シリーズの応用範囲は幅広く、半導体における複合ウェハ、半導体チップ、半導体パッケージ、LED、めっき、塗装など様々な分野で使用されています。例えば半導体分野においては、非破壊検査ツールとして使用され、X線では検出されにくい剥離/クラック等の検査に威力を発揮します。

~V シリーズラインナップ~
【V-8/V-400】
幅広い用途のスタンダードモデル。品質保証からR&Dまで幅広く対応
【V-700/V-1000】
広範囲スキャンモデル。多数サンプルの検査に威力を発揮。
【V8-DUO / V8-Multihead】
高スループットが必要な用途向けのマルチプローブシステム。

基本情報

【特長】
○超高速スキャン
→新開発の高速スキャンユニットにより、スキャンスピードが従来比の1.5倍になりました。ウェハなどの大サンプルスキャンにおいて特にその威力を発揮します。
○高S/N、自社開発プローブ
→GHz帯域(世界唯一)にまでに及ぶ長年の超音波技術で培った経験が、高感度イメージングに生かされています。
→プローブの大半は自社開発しており、Vシリーズでは最高400MHzまで対応しています。

【V シリーズ仕様】
○V-8/V-400
→周波数帯域: 440/550MHz、スキャン範囲: Max 400mm x 400mm
○V-700/ V-1000
→周波数帯域 : 550MHz、 スキャン範囲: Max 700mm x 600mm
〇V8-DUO / V8-Multihead
→周波数帯域:550MHz、スキャン範囲:Max 700mm x 600mm(V8-DUO)/Max 700mm x 600mm (V8-Multihead)

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用途/実績例 【用途】
半導体、LED、電子部品、セラミック材料、結晶材料、めっき、塗装等分野における検査体の内部探傷/内部観察。

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