株式会社日本レーザー

AFM-IR装置 8インチ(200 mm)ウエハ対応

最終更新日: 2024-04-30 17:32:43.0
8インチ(200mm)ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。

高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応

基本情報

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型番・ブランド名 Vista 200
用途/実績例 半導体分野・フォトレジスト等

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