株式会社日本レーザー

静電容量変位センサ 非接触測定

最終更新日: 2024-02-26 15:43:56.0
接触することなく変位を高精度に測定。一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。

〇ナノメートル・サブナノメートルの精度を実現。
MicoSenseの独自技術による静電容量での高い温度特性・高安定性・高分解能・優れた直線性の実現。

〇被測定物に一切損傷や負荷を与えず測定。
接触することなく各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能。

〇目的やアプリケーションのに応じてた使用が可能。真空や非磁性対応の製品も含めさまざまなモデルをラインナップ。

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。
■測定フルスケール:±5μm~4500μm、±15μm~250μm、±25μm~500μm
■出力分解能:最高0.0005%FS以下、最高0.001%FS以下、最高0.002%FS以下
■出力直線性:最高0.02%FS以下、最高0.03%FS以下、最高0.1%FS以下、

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基本情報

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型番・ブランド名 MicroSense
用途/実績例 各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出

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