最終更新日:
2024-02-26 18:21:14.0
高品質 TEM00 ビーム, スペクトル幅 <120MHz フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー
【高品質 TEM00 ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー】
◀単一周波数全固体レーザーシステム IXION-193 ▶
●光学計測、193 nm ステッパオプティクスの補正、高出力 ArF エキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用可能。
●スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値。
●指定可能な中心波長
中心波長は 185～194 nm 範囲からご注文時にご指定可能。
●オプションとして、絶対波長精度 0.001 nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能。
これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。
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基本情報
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| 価格情報 | ※お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 193nm 単一周波数QスイッチLD励起レーザー“IXION-193-SLM” |
| 用途／実績例 | ■193 nm 計量・計測 ■スペクトロメータの補正 ■干渉 ■エキシマレーザーのインジェクションシーディング |
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