最終更新日:
2024-04-30 17:32:43.0
8インチ(200mm)ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。
高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応
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