株式会社日本レーザー

AFM-IR装置 12インチ 300mm 対応

最終更新日: 2024-10-04 10:28:21.0
12インチ ウエハ。300 mm × 300 mm 対応のAFM-IR装置。ナノ加工における研究開発および故障解析に最適。

12インチ対応。AFM-IR装置 PiFM / PiF-IR。ナノ加工における研究開発および故障解析に最適な最先端の ナノ化学測定装置。業界トップクラスの自動化を実現したAFMです。

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基本情報

サンプルステージ移動領域:300mm x 300mm
走査サイズ:90 μm x 90 μm

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価格帯 お問い合わせください
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型番・ブランド名 Vista300 12インチ 300 mm サンプル対応 AFM-IR装置 PiFM / PiF-IR
用途/実績例 ウエハ検査
各種表面形状検査

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