最終更新日:
2024-10-03 11:22:37.0
AR導光板グレーティングの品質を総合的に評価できる高精度な回折計システム
種類や基板に関係なくあらゆるグレーティングサンプルを測定可能、回折格子のピッチと方向を測定、ピコメートルおよび秒角スケールの高精度で、グレーティング構造の欠陥を検出。グレーティング構造の均一性を広い領域にわたって評価できます。
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