最終更新日:
2024-03-04 10:13:19.0
低温処理による高い被膜密着性と低発塵性!表面抵抗値別製品をラインアップ
ESD対策専用DLC コーティング『THORスリック』は、帯電によって起こるダスト等吸着による生産性低下
などの不具合対策に活用できる製品です。
低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、
耐焼付性を有しています。
半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬送アーム、吸着ステージなど
幅広い用途でご使用いただけます。
【特長】
■低温処理で高い被膜密着性と低発塵性
■緩やかなESD放電曲線
■表面抵抗値別製品をラインアップ
■耐摩耗性・耐焼付性・耐食性を有する
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【被膜特性(抜粋)】
■色調:黒色
■硬さ:1000~2200 Hv
■処理温度:<150 ℃
■摩擦係数:0.10~0.20
■膜厚:1.0~2.0 μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体製造前工程:ウエハホルダ、ウエハ搬送アーム、吸着ステージ等 ■半導体製造後工程:パーツフィーダー、ガイド、プローブピン、検査装置、テーブル等 ■その他精密部品製造装置部品のESD対策に ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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日本コーティングセンター(JCC)株式会社