■装置構成
・薬液
APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水
・搬送状態
カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。)
・乾燥
スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
・薬液
APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水
・搬送状態
カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。)
・乾燥
スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。