高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。
3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。
ウエハー(RCA)洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
■装置構成
・薬液
APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水
・搬送状態
カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。)
・乾燥
スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。)
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』 |
用途/実績例 | ウエハー、精密部品、インゴット等 |
関連カタログ
お問い合わせ
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JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室