JFE商事エレクトロニクス株式会社

プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所製バッチ式ウエハー自動洗浄装置TWSシリーズ

最終更新日: 2022-09-08 17:08:18.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』 製品画像
■装置構成
・薬液
APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水
・搬送状態
カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。)
・乾燥
スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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