![高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/ce5/2000745643/IPROS99837684531478489587.jpeg?w=140&h=140)
■仕様
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
シリコンウエハー、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
シリコンウエハー、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000mm
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