■仕様
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
シリコンウエハー、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
シリコンウエハー、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000mm
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