JFE商事エレクトロニクス株式会社

プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

最終更新日: 2022-10-06 15:10:12.0
IPA蒸気による洗浄乾燥装置!デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現!

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。

3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。

ウエハーをIPA(イソプロピルアルコール)の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。

■特長
・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPAを用いたクリーン乾燥が可能
・ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策
・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能
・オールステンレスにより破損の危険性を排除
・ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

■仕様
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
     シリコンウエハー、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
    アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
用途/実績例 デバイス・ウエハー・ガラス・部品等

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

製品・サービス一覧(49件)を見る