■基本仕様
・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット
・スピンチャック:バキュームチャック
※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー)
1,900x4,100x2,200mm(4チャンバー)
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット
・スピンチャック:バキュームチャック
※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー)
1,900x4,100x2,200mm(4チャンバー)
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。