量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。
■特長
・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、
フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
・枚葉化による品質・歩留り向上
(クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 )
・1チャンバー完結 完全枚葉処理
・パドル処理、低速回転域での薬液裏面回り込み防止機構
・液ミスト、剥離メタルの再付着防止機構
・効率的なジェット剥離と液ミスト、剥離メタル飛散防止機構
・効率的なメタル回収機構
※試作用『TWPmシリーズ』もございます。
https://www.ipros.jp/product/detail/2000745626
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
■基本仕様
・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット
・スピンチャック:バキュームチャック
※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー)
1,900x4,100x2,200mm(4チャンバー)
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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型番・ブランド名 | 量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』 |
用途/実績例 | パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイス(LED等)、SAWデバイス、MEMS等 |
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