JFE商事エレクトロニクス株式会社

プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

最終更新日: 2022-10-06 15:43:48.0
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置!

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。

■特長
・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、
フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
・枚葉化による品質・歩留り向上
(クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 )
・1チャンバー完結 完全枚葉処理
・パドル処理、低速回転域での薬液裏面回り込み防止機構
・液ミスト、剥離メタルの再付着防止機構
・効率的なジェット剥離と液ミスト、剥離メタル飛散防止機構
・効率的なメタル回収機構

※試作用『TWPmシリーズ』もございます。
 https://www.ipros.jp/product/detail/2000745626
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

■基本仕様
・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット
・スピンチャック:バキュームチャック
        ※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー)
1,900x4,100x2,200mm(4チャンバー)
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
用途/実績例 パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイス(LED等)、SAWデバイス、MEMS等

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

製品・サービス一覧(49件)を見る