JFE商事エレクトロニクス株式会社

プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX501』

最終更新日: 2022-10-03 10:10:05.0
全自動&装置機能UP&遠隔監視機能を搭載!ダイシング工程の生産性向上に貢献!

『CSX501』は高速切断を実現可能とする両端支持機構を備えた超音波スピンドルを搭載し、生産性向上や新たな機能を追加した超音波カッティング装置です。

装置監視機能を追加し、不測のトラブルが発生した際も遠隔サポートにて最小限の装置停止時間での復旧が可能となりました。

■特長
・SiC、アルミナ、PZTなどの難切材からガラス、樹脂などの複合材など広範囲な材料の高速で高品質な切断を実現!
・ブレード切断に超音波を付加することで、ブレードの摩耗量を大幅に減少させることが可能!
・超音波効果を最大限に引き出す独自スピンドルと特殊超音波ブレードの開発により、SiCウエハで80µmストリートにおける量産レベルの切断を実現!

※デモ機がございますので、サンプル評価可能です。
※セミオートタイプ『CSX-400』のご提案も可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

■基本仕様
・最大ワークサイズ:Φ200mm
・最大フレーム:6,8インチリング
・X軸 切断可能範囲:220mm、最大切断速度:500mm/s
・Y軸 切削可能範囲:220mm、最高速度:500mm/s
・Z軸 ストローク:129.5mm
・用力:3相200V 市水、圧空、廃液、排気
・装置寸法(WxDxH):1,200x1,320x1,850mm
・装置重量:約2,500kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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※ 応相談
型番・ブランド名 高田工業所製超音波カッティング装置『CSX501』
用途/実績例 SiCウエハー、アルミナ基板、AIN基板、PZT基板、ガラス基板、サファイア基板、石英、複合材などの各種材料

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