JFE商事エレクトロニクス株式会社

プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

最終更新日: 2022-10-06 15:43:48.0
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置!

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。

■特長
・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、
フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
・枚葉化による品質・歩留り向上
(クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 )
・1チャンバー完結 完全枚葉処理
・パドル処理、低速回転域での薬液裏面回り込み防止機構
・液ミスト、剥離メタルの再付着防止機構
・効率的なジェット剥離と液ミスト、剥離メタル飛散防止機構
・効率的なメタル回収機構

※試作用『TWPmシリーズ』もございます。
 https://www.ipros.jp/product/detail/2000745626
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

■基本仕様
・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット
・スピンチャック:バキュームチャック
        ※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー)
1,900x4,100x2,200mm(4チャンバー)
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
用途/実績例 パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイス(LED等)、SAWデバイス、MEMS等

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