試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。
■特長
・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、
フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
・枚葉化による品質・歩留り向上
(クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 )
・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・コンパクトサイズ化による省フットプリント実現
・背面メンテナンスフリー構造
・従来製品からの機能は踏襲
・1チャンバー専用装置
※量産用『TWPシリーズ』もございます。
https://www.ipros.jp/product/detail/2000745622
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
■基本仕様
・材質:Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・洗浄チャンバー数:1
・スクラブ処理:高圧ジェット/ 2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・搬送ロボット:搬送ユニット
・スピンチャック:バキュームチャック
※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,200x1,500x2,000mm
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能
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価格帯 | お問い合わせください |
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型番・ブランド名 | 試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』 |
用途/実績例 | パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイス(LED等)、SAWデバイス、MEMS等 |
関連カタログ
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