露光装置向け　フライアイレンズ製品カタログ | カタログ

露光装置向け　フライアイレンズ

最終更新日: 2017-10-10 16:55:20.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

半導体露光装置の照明に特にご採用いただいているレンズです。
特に最近では、微細加工が進み短波長側にシフトしていることから、弊社では合成石英レンズを使ったフライアイレンズも製作しております。その他、液晶プロジェクターの液晶基板投射光側に使われております。

関連情報

拡散照明素子『フライアイレンズ』

【仕様例】
■コリメーション半角2.0°
■デクリネーション角±0.2°
■照度ばらつき10%以内

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ビームホモジナイザー

【参考仕様】
■材質：BK7、合成石英
■外形：□1mm～□30mm
■L寸法：～300
■面精度：光学研磨～λ/20
■平行度：5秒～
■有効径：実寸の90%の範囲にて

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

色ムラ・照度ムラ対策としてビームホモジナイザーをご提案します

【参考仕様】
■材質：BK7、合成石英など
■外形：□1mm～□30mm（ロッド型）
　　　　フライアイレンズ・ミラー型についてはお問い合わせください
■L寸法：～300（ロッド型参考仕様）
■面精度：光学研磨～λ/20（ロッド型参考仕様）
■平行度：5秒～（ロッド型参考仕様）
■有効径：実寸の90%の範囲にて（ロッド型参考仕様）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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