最終更新日:
2022-12-14 11:43:16.0
主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。
材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。
【特長】
○材質：クリアセラム、合成石英
○L寸法：１００ｍｍ～８００ｍｍ超
○面精度：数μｍ～λ／１０
※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。
基本情報
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
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