最終更新日:
2022-12-14 11:43:16.0
均一光として照射面へ出力！様々な素子組み合わせにより照射ムラの課題を解決！
『フライアイレンズ』は、同じ単レンズを縦横に配列した結像素子です。
ファイバーレーザーから出力された光を当製品を通すことにより多点光源と
同じ状況を作り出すことができ、均一光としての照射が可能となります。
また、個々のレンズを研磨加工した後に独自の技術で接合しております。
紫外領域でも高い透過率と耐久性のあるコーティングも対応可能です。
主に半導体露光装置の照明系に使用されております。
【加工仕様】
■外形：～420mm
■エレメント数：～200
■材質：BK7 石英ガラス
■レンズ形状：平凸レンズ、両凸レンズ、ドラムレンズ
■接着方法：フリット接着、UV接着
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様例】
■コリメーション半角2.0°
■デクリネーション角±0.2°
■照度ばらつき10%以内
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