亀岡電子株式会社

【CLA事例】薬液タンク(希硫酸)のレベル検知【半導体装置関連】

最終更新日: 2019-10-24 21:02:11.0

  • カタログ

液面レベルセンサー『CLA』を使用!アナログ出力で液面位置を検知し出力できますので、リニアに液面管理ができます!

電極がPETフィルムのため、色々なタンクに取り付けが可能な非接触で
検出できる液面レベルセンサー「CLA」を使用した薬液タンクのレベル検知の
事例をご紹介します。(検出物:希硫酸)

半導体装置関連の会社様は、液面管理位置を変更したい場合、センサ取付し
直しの手間が発生。点での液面管理の為、どの位置に液面があるのか
わからないという課題を抱えていました。

そこで「CLA」を採用。

結果、任意で液面検知位置を4接点、設定出来る事により、センサ位置の変更が
不要。また、アナログ出力で、液面位置を検知し出力できるため、リニアに
液面管理が出来るようになりました。

【現状の課題および要望】
■現在、静電容量式センサを4台設置し、液面の管理をしている
■液体や稼働状況によって、液面の管理が変更になる
■液面がどの位置にあるかリニアに監視したい
■液面管理位置を変更したい場合、センサ取付し直しの手間が発生
■点での液面管理の為、どの位置に液面があるのかわからない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【改善メリット】
■CLAを使用していただくことで、リニアに液面管理が出来る事により、液面が今どの位置にあるか管理出来る
■液面の管理位置が変更になった場合、センサ位置を変えずに、アンプで出力接点(HH、H、L、LL)を任意で変更でき、取り付けし直す作業が削減出来る

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 1万円 ~ 10万円
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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