従来のフッ素グリースよりも、より高性能に！半導体製造装置用フッ素グリース
『FLOIL TKUシリーズ』は、環境対応型のフッ素グリースです。
酸化安定性・耐薬品性に優れており、REACH規則 Annex XVIIに対応。
ゴム、プラスチックに悪影響を与えません。
高真空環境下や温度の変化によるオイルの蒸発や粘度の変化が極めて
少なく、半導体製造装置・真空装置・真空ポンプ・軸受け摺動部や
オイルシールなどの各種シール部に適しています。
【特長】
■REACH規則 Annex XVIIに対応
■蒸気圧が低く、高真空下でもオイルの蒸発が極めて少ない
■酸化安定性・耐薬品性に優れる
■ゴム、プラスチックに悪影響を与えない
■1kg容器、50gチューブの2種類の荷姿に対応
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】
■TKU-056
■TKU-002
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■TKU-056
■TKU-002
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 |
【用途】 ■半導体製造装置内各種摺動部 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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