【仕様(一部)】
■サイズ:KD4-E(1/4″)
■Cv値:0.27 ※SEMASPEC-90120394B-STDに基づくCv値測定(室温)で最小値を記載
■使用最高圧力:0.98 MPa(G)
■接ガス部内容積:1.36cm3 ※CVCオス図面寸法からの計算値(標準値)
■使用流体温度範囲
・PCTFE:-10℃~80℃
・PFA:-10℃~150℃
■環境温度範囲:-10℃~60℃
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■サイズ:KD4-E(1/4″)
■Cv値:0.27 ※SEMASPEC-90120394B-STDに基づくCv値測定(室温)で最小値を記載
■使用最高圧力:0.98 MPa(G)
■接ガス部内容積:1.36cm3 ※CVCオス図面寸法からの計算値(標準値)
■使用流体温度範囲
・PCTFE:-10℃~80℃
・PFA:-10℃~150℃
■環境温度範囲:-10℃~60℃
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。