株式会社キッツエスシーティー

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

最終更新日: 2023-09-05 10:41:46.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能!ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ!
高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。
【仕様(抜粋)】
■サイズ:WD4(1/4")
■Cv値:手動弁0.3/自動弁0.23
■接ガス部内容積:3.2cm3(ストレート弁、CVCオス、OPEN状態) 
■環境温度範囲:-10℃~ 60℃
■操作圧力(自動弁):0.5 ~ 0.7MPa(G)
■作動耐久性(N2 封入試験当社実績):3万回

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』
高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■サイズ:WD4(1/4")
■Cv値:手動弁0.3/自動弁0.23
■接ガス部内容積:3.2cm3(ストレート弁、CVCオス、OPEN状態) 
■環境温度範囲:-10℃~ 60℃
■操作圧力(自動弁):0.5 ~ 0.7MPa(G)
■作動耐久性(N2 封入試験当社実績):3万回

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
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