【仕様(抜粋)】
■サイズ:WD4(1/4")
■Cv値:手動弁0.3/自動弁0.23
■接ガス部内容積:3.2cm3(ストレート弁、CVCオス、OPEN状態)
■環境温度範囲:-10℃~ 60℃
■操作圧力(自動弁):0.5 ~ 0.7MPa(G)
■作動耐久性(N2 封入試験当社実績):3万回
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■サイズ:WD4(1/4")
■Cv値:手動弁0.3/自動弁0.23
■接ガス部内容積:3.2cm3(ストレート弁、CVCオス、OPEN状態)
■環境温度範囲:-10℃~ 60℃
■操作圧力(自動弁):0.5 ~ 0.7MPa(G)
■作動耐久性(N2 封入試験当社実績):3万回
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