株式会社キッツエスシーティー

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

最終更新日: 2023-09-04 15:57:01.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

Max180℃まで任意の温度に設定可能!メンテナンス期間を大幅に延長できます。
角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。
【主な仕様(一部)】
■サイズ:12"(300mm タイプ)
■使用圧力:1x10-6Pa~0.101MPa(abs)
■弁座耐差圧:0.101MPa(正逆圧)
■ベローズ耐圧:0.02MPa(G)
■弁開閉許容差圧:1.3KPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』
角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』 製品画像
【主な仕様(一部)】
■サイズ:12"(300mm タイプ)
■使用圧力:1x10^-6Pa~0.101MPa(abs)
■弁座耐差圧:0.101MPa(正逆圧)
■ベローズ耐圧:0.02MPa(G)
■弁開閉許容差圧:1.3KPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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