株式会社キッツエスシーティー

排気ラインの副生成物対策 『事例集』

最終更新日: 2021-04-16 13:41:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/04/16
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見! 高温(180°)バルブで副生成物を抑制した事例を進呈!
CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。

ホームページ:https://kitz-sct.jp/contact/product/

関連情報

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
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> 概略 <
・お困りではありませんか? 除害装置前段での副生成物対策
・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの?
・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる!
・流路を高温(180℃)、かつ均一に加熱する方法とは?


掲載されている製品・技術:
#半導体製造用部材 #空圧 ボールバルブ #手動 ボールバルブ #アイソレーションバルブ #L型真空バルブ

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