株式会社キッツエスシーティー

高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ

最終更新日: 2021-08-31 14:16:05.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/9/3
バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるPFA樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中
・優れた耐熱性・耐腐食性・耐久性を有したバルブです。
・使用時のCv値変動率が少なく 安定した再現性のあるガス流量のため、蒸気圧が低い材料を使用できます。
・耐熱性のあるバルブハンドルのため、ハンドルを付けたまま恒温槽を使用できます。

関連情報

高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』
高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』 製品画像
【お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト】
<自動弁>
■ジャケットヒーター取付の最適化を考慮したデザイン
・アクチュエータのエアー抜き穴を上面に配置したことで、バルブ側面にジャケットヒーターを
 密着させることが可能となり熱ロスを最小限に抑える
<手動弁>
■開閉状態が目視可能な耐熱仕様のハンドルデザイン
・開閉操作部のハンドルや開閉表示板を耐熱仕様にしたことで、材料容器等洗浄時の脱水工程で
 ハンドル部を外す手間を必要とせずベイクアウト可能
・気化供給システム等恒温槽を使用した場合も、のぞき窓から開閉状態の確認が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』
高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』 製品画像
【その他の特長】
■自動弁
・ジャケットヒーター取付の最適化を考慮したデザイン
■手動弁
・LOTO(Lock-Out、Tag-Out)機構搭載
・開閉状態が目視可能な耐熱仕様のハンドルデザイン

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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