最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能
従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。
システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。
また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。
水銀ランプ1000W,500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は
カタログをご覧ください。
製品の特徴
・超高出力（最大50 W）
・高安定性（クローズドループによる出力制御）
・低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間）
・水銀ランプと代替可能
・外付け冷却
・超高出力（最大50 W）
・高安定性（クローズドループによる出力制御）
・低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間）
・水銀ランプと代替可能
・外付け冷却
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ALE/1C |
| 用途／実績例 |
・マスクアライナー ・ステッパー ・ウェハ周辺露光 ・ＵＶ硬化 ・ＵＶ光源を用いる検査装置 |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ALE/1.1 | |
| ALE/1.2 | |
| ALE/1.3 |
関連ダウンロード
超高出力 UV-LED照射器 ALE/1C
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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