株式会社クボタ計装

ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式)_K-LE-G100

最終更新日: 2024-10-23 16:08:09.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式)
ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式) 製品画像

【検出】
方   式: レーザー散乱方式および正反射方式
検出サイズ: PSL50nm(オプション追加で40nm)相当の欠陥

【対象基板】
種   類: 透明体を含む各種基板
サ イ ズ: 2~12inch、形状など別途相談に応じます

【装置サイズ(8インチ)】
外形寸法 : W1,790 x D1,340 x H2,000 (mm)
質   量: 約1200kg

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