上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式)
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【検出】
方 式: レーザー散乱方式および正反射方式
検出サイズ: PSL50nm(オプション追加で40nm)相当の欠陥
【対象基板】
種 類: 透明体を含む各種基板
サ イ ズ: 2~12inch、形状など別途相談に応じます
【装置サイズ(8インチ)】
外形寸法 : W1,790 x D1,340 x H2,000 (mm)
質 量: 約1200kg
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株式会社クボタ計装